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i6R-100 掩模版缺陷檢測設備

發布時間:2022.01.07

  合肥御微半導體技術有限公司是一家為集成電路制造提供先進裝備的科創企業,面向集成電路制造、先進封裝、化合物半導體、新型顯示等領域,為客戶提供具有競爭力的產品及技術解決方案。公司聚焦集成電路光學量檢測系統設計與系統集成,圍繞集成電路裝備自主化,已經形成了掩模版檢測、晶圓檢測、泛半導體檢測、晶圓測量等6大類量檢測產品,致力成為全球第一梯隊的集成電路裝備技術提供者。

  公司核心團隊均來自國內半導體行業頂尖院所及企業,掌握整套尖端光學設備設計、集成及成像等核心技術,團隊曾歷時十余載,親歷推動國內中頂級難度的復雜大型裝備研發,填補國內空白。懷揣為解決國產半導體設備“卡脖子”問題而奮斗的情懷,項目團隊將光刻機技術標準,應用于半導體量檢測,致力于提高國產半導體量檢測設備的國際競爭力。目前,公司已組建研發、測試、生產、營銷、售后等完整體系的人才團隊,其中研發人員占比70%以上,專業、高效的研發團隊將為公司快速發展和產品技術提升提供不竭源動力。

  公司推出的全國首臺集成電路掩模缺陷檢測產品,關鍵性能已經達到國際領先水平,獲得了全球半導體協會SEMIS2認證,通過全球第一大集成電路制造商臺積電認可,并多次獲其訂單;集成電路前道晶圓缺陷檢測產品,成功通過國內第一大集成電路制造商中芯國際認證,并獲得批量訂單。公司自主研發的產品將持續應用于國內高端集成電路制造商,為我國集成電路制造不斷創造價值。

i6R-100 掩模版缺陷檢測設備

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